納入装置点検サービス実施中
既設設置の安定稼働を目的として
- 故障トラブルの予防
- 生産基板の品質安定
- 摩擦部品の交換提案
- 装置性能のグレードアップ提案
点検サービスの指摘事項事例
- 搬送系：チェーン・スプロケット・ギア等の磨耗
- スプレー系：オシレーション駆動部の摩擦、スプレー配管液漏れ
- 筐体系：本体液漏れ、フタの漏れ、ポンプの異音
- 電気系：電気接点腐食のPM（事前補修）管理
装置グレードアップ提案事例
- 薄物搬送（基板厚100µm、60µm、25µm)への改善
- エッチング精度の向上、エミネント方式・スーパーオシレーションによる改善
- 歩留まり向上を目的としたユニット交換の更新
- 他社装置のメンテナンス及び機能改善相談
リニューアルで性能UPしませんか!?
リニューアル事例（国内A社様の事例）
エッチングのノズル配列等を見直ししたら...
リニューアル前
基振上面
| R(Max-Mln) | 13.8 | Etch Rate(sec/µm) | 2.6 |
|---|---|---|---|
| R/2X (%) | 21.8 | 標準偏差(µm) | 3.7 |
基板下面
| R(Max-Mln) | 10.6 | Etch Rate(sec/µm) | 2.1 |
|---|---|---|---|
| R/2X (%) | 13.7 | 標準偏差(µm) | 2.0 |
リニューアル後
基振上面
| R(Max-Mln) | 6.3 | Etch Rate(sec/µm) | 2.4 |
|---|---|---|---|
| R/2X (%) | 8.6 | 標準偏差(µm) | 1.3 |
基板下面
| R(Max-Mln) | 3.6 | Etch Rate(sec/µm) | 2.0 |
|---|---|---|---|
| R/2X (%) | 4.1 | 標準偏差(µm) | 0.6 |
さらに、エミネント方式・スーパーオシレーション技術を採用することで、装置のグレードアップが可能です。
※仕様は改良のため、変更する場合がございますので、ご了承おきください。