回路形成プロセス
剥離装置
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クリーンフィルター
カス取りドラム
レジスト剥離装置の他、高温剥離や微細回路向け剥離（アミン系剥離液）もラインナップしており、効果的にレジストを除去することが可能。
レジスト（ドライフィルム）剥離片の回収にはクリーンフィルター式（振動）とドラム式（回転）をラインナップ。
剥離装置 - 東京化工機株式会社
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レジスト剥離装置の他、高温剥離や微細回路向け剥離（アミン系剥離液）もラインナップしており、効果的にレジストを除去することが可能。
レジスト（ドライフィルム）剥離片の回収にはクリーンフィルター式（振動）とドラム式（回転）をラインナップ。