回路形成プロセス
エッチング装置
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エミネント式・オシレーション式・ハイブリッド式（二流体）のエッチング装置をラインナップとし、ハイブリッドエッチング機（特許取得）は微細回路のエッチング処理が可能。
スポットエッチング機（特許取得）は、任意の箇所をエッチングし、めっきやエッチングで発生する面内バラツキを改善することが可能。
エッチング装置 - 東京化工機株式会社
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エミネント式・オシレーション式・ハイブリッド式（二流体）のエッチング装置をラインナップとし、ハイブリッドエッチング機（特許取得）は微細回路のエッチング処理が可能。
スポットエッチング機（特許取得）は、任意の箇所をエッチングし、めっきやエッチングで発生する面内バラツキを改善することが可能。