現像装置 - 東京化工機株式会社

製品情報

回路形成プロセス

• DESライン
• 現像装置
  • 二流体現像機
  • エミネント現像機
• エッチング装置
  • スポットエッチング機
  • フラッシュエッチング機
  • エミネントエッチング機
  • ハイブリッドエッチング機
  • 厚銅エッチング機
• 剥離装置

表面処理プロセス

• 前処理・CZ処理装置
• フラックス処理装置
• 洗浄装置

スプレイ技術

• エミネント
• ハイブリッドエッチング・二流体現像
• オシレーション・水平揺動
• 厚銅エッチング